ZeeScope

ZeeScope
硬體
ZeeScope支持一系列高級設置，可以進行快速、精確的3D採集。取代原有步進電機或壓電設備移動物鏡或載物台的機械掃描方法，ZeeScope採用了專有的PhaseView 光學元件來實現3D掃描，同時結合了最新的數位鏡頭技術的優勢進行精確且高度可重複的3D掃描和表面測量。

軟體
ZeeScope提供了 GUI軟體  GetPhase ，還可選配軟體發展包 API/ SDK ，帶有全面三維採集工具，可用於顯微鏡自動化系統。

應用
  • 鐳射打標、鑽孔、雕刻
  • 瑕疵檢測
  • 航空
  • 汽車產業
  • 摩擦學
  • 金屬模具
  • 品管控制
  • 金屬, 油漆&塗料陶瓷, 聚合物
  • 半導體材料
  • 寶石學
  • 博物館
  • 法醫學
  • 教育



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  ZeeScope 100 ZeeScope 150 ZeeScope 200
相機 CMOS 1280 x 1024 5.2μm
正方形圖元
30fps@full resolution		 CCD 1616 x 1216
4.40 正方形圖元
12fps@full resolution		 CCD 2560 x 1920
2.20 正方形圖元
resolution
光源 內置LED光源
物鏡 可互換物鏡 (有限遠 – 無限遠 類型)
RMS和M25/0.75螺紋轉接件
尺寸和重量
ZeeScop主體
控制單元		 225(H) x 40 (W) x 55(D) mm, 425g
電壓 110/220V AC
PC介面 USB 2.0

3D 測量參數

Z軸掃描範圍和解析度由物鏡和C-MOUNT介面綜合放大倍率決定。以下是標準物鏡放大倍數和1X C-MOUNT介面下的參數。對於其他物鏡放大倍數或C介面放大倍數，遵循以下計算公式：

Z軸範圍 = 60mm / (G_Obj )2
Z軸解析度 = 物鏡景深 /4
G_Obg = 物鏡放大倍率,

物鏡
Mag : NA		 Z軸範圍 (μm) Z軸解析度(μm)
5X / 0.10 2400 18.5
10X / 0.25 600 3
20X / 0.45 150 1
50X / 0.8 24 0.25

Z軸精度1%
Z軸重複性: 0.35%
最大斜率: 90°
XY空間解析度取決於相機解析度和物鏡放大倍數。

粗糙度測量參數

共12項分析參數，包括經常使用的Ra (Sa), Rq (Sq), Rz(Sz)參數。符合ISO 4287、25178、DIN4768標準。

測量範圍: Ra, Rq: 0.01-500µm, 測量精度: ≤±10%, 重複性: ≤6%

視場 – 橫向XY 解析度– 景深

視場 (FOV) = (相機解析度 (H/V)* 圖元(H/V) / (G_Obj * G_adapt)
景深 (DOF) = lambda / NA2 + 圖元尺寸 / (NA? * G_Obj * G_adapt)

G_Obj = 物鏡放大倍率
G_adapt = C介面放大倍數
Lambda = 典型值為 0.633μm
NA = 物鏡的數值孔徑
NA = 物鏡的數值孔徑

Z軸校準, 認證 &系統校準

Phaseview 出廠前會根據步進高度校準用標準進行Z軸校準。Z軸校準非常簡單，只需要使用步進高度校準標準即可，如Rubert 標準編號513C (可選)。

系統校準軟體（請查看軟體參數規格）根據物鏡放大倍率和用於Z軸疊加的校正XY軸移位參數的計算進行XY軸校準，然後將校準資料保存到採集系統內部記憶體中。校準需要使用典型的配件（可選）。


概述

ZeeScan提供了使用者圖形介面 “GetPhase”和一個系統校準軟體，使用者還可選購 API / SDK軟體發展包進行系統整合。所有軟體支援 XP, Vista, 7, 8 （32 / 64 bit)作業系統，也支援圖形處理器（GPU）。

GetPhase GUI (包含)

主要特性：
2D / 3D 採集模式: 2D, Z軸疊加, 3D粗糙度, 3D形貌測量
多種顯示模式: 3D, Phase, DIC, 暗視場,圖像融合 (景深擴展)
2D / 3D 分析工具 : 設定檔, 步長高度, 粗糙度等
報告& 匯出數據

GetPhase包含3種不同方式，用於Z軸和3D採集：

Z軸高度測量/ Z軸疊加: 基於PhaseView 光學元件獨特的Z軸掃描功能，提供了精確和重複Z軸步長。

3D表面粗糙度測量: 基於專利波前測量技術，實現反射表面的形貌測量。運算法則會自動處理物鏡景深範圍內採集到的兩張或更多圖像，當樣本的形貌處於全景對焦狀態且在物鏡景深範圍內，可以測量樣本表面很小的變化。3D 重建由最大斜率決定，樣本邊緣比較陡峭不規則時需要較高的物鏡放大倍率和物鏡數值孔徑 (NA)。

3D形狀測量: 基於檢測Z軸圖像系列的局部對比圖，從而測量物體的深度圖。運算法則處理物鏡景深範圍之外採集到的Z軸疊加圖像，這種方法可用于測量物鏡景深範圍之外樣本的表面變化，系統根據Z軸圖像平面開始3D 重建。

系統_校準軟體 (包含)

主要特性：
物鏡放大倍數XY軸校準
Z軸疊加校準參數計算
校準資料保存在採集系統中

API / SDK (選配)

API/ SDK 軟體發展包需要另購，帶有全面三維採集工具，可用於顯微鏡自動化系統。